ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МАКРОПОРИСТЫХ КРЕМНИЕВЫХ ЭЛЕКТРОДОВ ДЛЯ ПОРТАТИВНЫХ ТОПЛИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

Федулова Г.В., Нечитайлов А.А.


Read the full article  ';

Abstract

Сформулированы требования, предъявляемые к электродам микротопливных элементов на основе макропористого кремния. Разработана технологическая цепочка получения кремниевых электродов,  включающая в качестве основных этапов процессы: анодирования, вскрытия пор и глубокого диффузионного легирования. Изучены особенности каждой технологической стадии.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика