КОНТРОЛЬ ОПТИКИ МИКРООБЪЕКТИВОВ НА ИНТЕРФЕРОМЕТРЕ БОКОВОГО СДВИГА ПО СХЕМЕ РОНКИ

Kirillovsky Vladimir K., Куликов Алексей Николаевич

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

КОНТРОЛЬ ОПТИКИ МИКРООБЪЕКТИВОВ НА ИНТЕРФЕРОМЕТРЕ БОКОВОГО СДВИГА ПО СХЕМЕ РОНКИ

V. K. Kirillovsky, Куликов А.Н.

Read the full article

Abstract

Рассмотрены особенности контроля объектива микроскопа на интерферометре бокового сдвига, созданном на базе схемы Ронки[1]. В дополнение к уникальным возможностям интерферометра сдвига с дифракционной решеткой, нечувствительного к вибрациям и способного работать с применением источника белого света и выделением требуемых спектральных зон при контроле хроматизма, компьютеризация делает данный метод контроля одним из наиболее привлекательных благодаря простоте, экономичности и эффективности.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License