ОПТИКО–ГЕОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННЫХ СОСТОЯНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСЕНСОРНОЙ ТЕХНИКИ

Korobeynikov Anatoliy Grigorievich, Tkalich Vera L.

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

ОПТИКО–ГЕОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННЫХ СОСТОЯНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСЕНСОРНОЙ ТЕХНИКИ

A. G. Korobeynikov, V. L. Tkalich

Read the full article

Abstract

На базе поляризационно-оптического метода предлагается оптико-геометрический метод определения напряженно-деформированных состояний элементов микроэлектроники и микросенсорной техники. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка неразрушающих бесконтактных оптических методов исследования стереометрии и внутренних структурных дефектов элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники”

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License