Menu
Publications
2025
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Влияние аберраций на качество изображения тонкой периодической структуры в оптических системах с высокими числовыми апертурами
Read the full article
';
Abstract
Проведено математическое моделирование влияния аберраций на качество изображения тонкой периодической структуры предмета с учетом влияния высоких апертур на входе оптической системы. Применяется концепция векторных плоских волн для описания дифракции света на структуре объекта и прохождения через оптическую систему. Рассматривается влияние высокой входной апертуры на качество изображения.
Keywords:
аберрации, оптические системы
