Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Отражательная эллипсометрия в приборостроении
Read the full article
';
Abstract
Эллипсометрия является оптическим методом, дающим возможность бесконтактного выявления нарушений поверхности, программного моделирования воздействия структурных дефектов на свойства пленок, а также решения ряда других задач механики и оптики. Важной особенностью метода эллипсометрии является наличие матричного аппарата, который эффективно реализуется программным путем.
Keywords:
эллипсометрия, приборостроение
