Нанотестер для диагностики и модификации  
микро– и наноструктур: создание и исследование методики, изготовление  
и испытание макетного образца

Alexander Golubok, Керпелева Светлана Юрьевна

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Нанотестер для диагностики и модификации микро– и наноструктур: создание и исследование методики, изготовление и испытание макетного образца

A. Golubok, Керпелева С.Ю.

Read the full article

Abstract

Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) – один из базовых приборов в современной нанотехнологии. Визуализация микро- и наноструктур на поверхности образцов в СЗМ основана на детектировании локального взаимодействия между твердотельным нанозондом и образцом.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License