Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Влияние лазерного микроструктурирования поверхности кремния на морфологии и оптические свойства полученных структур
Read the full article
';
Abstract
В настоящее время процесс лазерного микростуктурирования поверхности широко применяется в полупроводниковой микроэлектронике. Изменяя энергию лазерного
импульса и время воздействия, можно реализовать широкий диапазон режимов воздействия – от локального нагревания до строго дозированного удаления материала. Из ос-
новных способов лазерного микроструктурирования поверхности в настоящей работе используется способ, основанный на локальном нагревании и испарении вещества, ко-
торый позволяет модифицировать структуру поверхности кремния и его свойства.
