Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Влияние лазерного микроструктурирования поверхности кремния на электрофизические свойства полученных структур
Read the full article
';
Abstract
Кремний – один из самых широко используемых материалов в современной полупроводниковой микроэлектронике и интегральной оптике. Оптические, электрические,
физические и фотолюминесцентные свойства кремния определяются морфологией и структурой поверхности кремния. Изменяя морфологию и структуру поверхности
кремния, можно изменить и его свойства. В предлагаемой работе проведен эксперимент по лазерному микроструктурированию поверхностей кремния, позволяющий мо-
дифицировать не только поверхность кремния, но и его физические, электрические и оптические свойства и, соответственно, значительно расширить область применения
данного материала.
