ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ СИЛИЦИДОВ МЕТАЛЛОВ МЕТОДАМИ ЛОКАЛЬНОГО ЛАЗЕРНОГО ПЕРЕНОСА И ОТЖИГА

Вейко Вадим Павлович, Касаткин Василий Юрьевич, Матыжонок Виктор Николаевич, Петров Андрей Анатольевич, Шахно Елена Аркадьевна

2009 , ТОМ 09, НОМЕР 2 ( МАРТ-АПРЕЛЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

УДК 621.373

ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ СИЛИЦИДОВ МЕТАЛЛОВ МЕТОДАМИ ЛОКАЛЬНОГО ЛАЗЕРНОГО ПЕРЕНОСА И ОТЖИГА

Вейко В.П., Касаткин В.Ю., Матыжонок В.Н., Петров А.А., Шахно Е.А.

Читать статью полностью

Аннотация

Пленки силицидов металлов, являющиеся узкозонными полупроводниками, представляют собой весьма перспективный материал для создания термодатчиков. В работе исследована возможность получения пленочных покрытий из силицидов хрома и железа методами локального лазерного переноса и лазерного отжига. Получены пленочные покрытия силицидов металлов на различных подложках, исследованы их электрические параметры. Определена зависимость свойств пленочных покрытий от условий нанесения.

Ключевые слова:

локальный лазерный перенос, лазерный отжиг, пленка, силицид металла, подложка.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License