МАТЕМАТИЧЕСКАЯ И ПРОГРАММНАЯ ОБРАБОТКА ДАННЫХ СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ

Путилин С.Э., Альтшулер Е.В.



Аннотация

Одной из основных задач при осаждении пленок является контроль толщины осаждаемого покрытия. В статье рассказывается о некоторых существующих методах и о новом, разработанном методе контроля.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика