<div>
	ВЛИЯНИЕ ЭФФЕКТА БЛИЗОСТИ НА РАЗРЕШЕНИЕ В ИЗОБРАЖЕНИЯХ, ВОССТАНОВЛЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ</div>

Корешев Сергей Николаевич, Старовойтов Сергей Олегович , Смородинов Денис Сергеевич

doi:10.17586/2226-1494-2019-19-4-608-613

2019 , ТОМ 19, НОМЕР 4 ( июль-август )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

doi: 10.17586/2226-1494-2019-19-4-608-613

УДК 535.417; 535.317; 778.38

ВЛИЯНИЕ ЭФФЕКТА БЛИЗОСТИ НА РАЗРЕШЕНИЕ В ИЗОБРАЖЕНИЯХ, ВОССТАНОВЛЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ

Корешев С.Н., Старовойтов С.О., Смородинов Д.С.

Читать статью полностью

Язык статьи - русский

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Старовойтов С.О., Смородинов Д.С. Влияние эффекта близости на разрешение в изображениях, восстановленных с помощью синтезированных голограмм // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2019. Т. 19. № 4. С. 608–613. doi: 10.17586/2226-1494-2019-19-4-608-613

Аннотация

Предмет исследования. Проведено исследование влияния оптического эффекта близости, известного из традиционной фотолитографии, на качество изображений, восстанавливаемых с помощью синтезированных рельефно-фазовых отра- жательных голограмм-проекторов Френеля. Метод. Исследование выполнено путем математического моделирования реальных физических процессов синтеза и восстановления в виртуальном пространстве голограмм бинарных транспарантов различной структуры. Каждый из транспарантов рассмотрен в двух вариантах: в первом он освещался синфазно, а во втором излучение, падающее на его соседние элементы, было в противофазе. Проведено сравнение качества восстановленных изображений. Критерий качества восстановленного изображения выражен через число градаций при пороговой обработке этого изображения, при котором распределение интенсивности в восстановленном изображении было бы идентично распределению интенсивности в исходном объекте. Основные результаты. Установлено, что при восстановлении изображений с помощью синтезированных голограмм метод фазовой компенсации эффекта близости положительно влияет на разрешение в восстановленном изображении. Наиболее явно эффект близости проявляется при расстояниях между элементами объектов-транспарантов, не превышающих один пиксель вне зависимости от размера самого пиксела и структуры применяемого объекта-фотошаблона. Практическая значимость. Даны рекомендации по практическому применению метода компенсации эффекта близости для улучшения качества изображений, получаемых методом голографической фотолитографии.

Ключевые слова: голограмма, синтезированная голограмма, восстановление голограммы, фазовая коррекция, эффект близости

Список литературы

1. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С. Влияние дискретности синтезированных и цифровых голограмм на их изображающие свойства // Компьютерная оптика. 2016. Т. 40. № 6. С. 793–801. doi: 10.18287/2412-6179-2016-40-6-793-801

2. Martinez-Leon L., Clemente P., Mori Y., Climent V., Lancis J., TajahuerceE. Single-pixel digital holography with phase-encoded illumination // Optics Express. 2017. V. 25. N 5. P. 4975–4984. doi: 10.1364/oe.25.004975

3. Zhang Y., Lu Q., Ge B. Elimination of zero-order diffraction in digital off-axis holography // Optics Communications. 2004. V. 240. N 4-6. P. 261–267. doi: 10.1016/j.optcom.2004.06.040

4. Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Фролова М.А. Метод увеличения глубины резкости изображений плоских транспарантов, восстановленных с помощью синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 11. С. 50–57.doi: 10.17586/1023-5086-2018-85-11-50-57

5. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Оптика и спектроскопия. 2011. Т. 111. № 1. С. 143–148.

6. Maiden A., McWilliam R., Purvis A., Johnson S., Williams G.L., Seed N.L., Ivey A.P. Nonplanar photolithography with computer-generated holograms // Optics Letters. 2005. V. 30. N 11. P. 1300–1302. doi: 10.1364/ol.30.001300

7. Bay C., Hübner N., Freeman J., Wilkinson T. Maskless photolithography via holographic optical projection // Optics Letters. 2010. V. 35. N 13. P. 2230–2232. doi: 10.1364/ol.35.002230

8. Моро У. Микролитография. М.: Мир. 1990. 1240 с.

9. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 30–37.

10. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д. Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 4. С. 66–73.

Johnson S. Stephen Johnson on Digital Photography. O'Reilly Media, 2006. 305 p.

11. Johnson S. Stephen Johnson on Digital Photography. O’Reilly Media, 2006. 305 p.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License