СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЙ И ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОДЫ АТТЕСТАЦИИ ПОТЕРЬ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В МАТЕРИАЛЕ И ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЭЛЕМЕНТОВ ИОННЫХ И ЭКСИМЕРНЫХ ЛАЗЕРОВ

Новиков А. А., Горляк А. Н., Степанчук А. А., Храмцовский И. А.



Аннотация

 

Изложены особенности появления позиционной и комбинационной неупорядоченности структуры кремнекислородной сетки в процессе синтеза кварцевого стекла и ее влияние на оптическую неоднородность по показателю преломления парофазного кварцевого стекла. На основе экспериментальных данных, полученных методами эллипсометрии, Оже–спектроскопии и спектрофотометрии, установлены корреляционные связи между физико-химическими свойствами поверхностного слоя плавленого и кристаллического кварца и потерями излучения на оптических элементах в ВУФ и УФ области спектра.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика