Принципы контроля образцовых элементов наивысшей точности для универсальных интерферометров

Кирилловский В.К., Вознесенский Н.Б., Ли К.



Аннотация

Современное оптическое приборостроение характеризуется непрерывным увеличением объемов выпуска продукции при одновременном совершенствовании ее технических характеристик. Увеличивается доля изделий с форсированными оптическими характеристиками. Появляются новые классы оптических приборов, систем и деталей, отличающиеся существенно повышенным качеством и точностью, такие как космические телескопы, исследовательские микроскопы, оптические системы для технологий микроэлектроники.


Ключевые слова:

интерферометры, телескопы, микроскопы



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика