Метод бесконтактного контроля локальных геометрических характеристик микроструктуры поверхности объектов с использованием интерферометров малой когерентности

Васильев В.Н., Гуров И.П., Захаров А.С.



Аннотация

Анализ микрорельефа шероховатых поверхностей имеет важное значение при проведении научных исследований и контроле качества в процессе производства многих видов изделий. При этом бесконтактные оптические методы представляют наибольший интерес.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика