Исследование влияния  
параметров процесса осаждения на формирование градиентных покрытий

Карасев Никита Николаевич, Путилин Сергей Эдуардович, Дмитренко Владимир Анатольевич

2004 , ТОМ 04, НОМЕР 4 ( СЕНТЯБРЬ-ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Исследование влияния параметров процесса осаждения на формирование градиентных покрытий

Карасев Н.Н., Путилин С.Э., Дмитренко В.А.

Аннотация

Рассмотрены вопросы, посвященные влиянию различных технологических факторов на распределение толщины слоев по поверхности подложки при формировании градиентных покрытий на оптических деталях с использованием оснастки, выполняющей перераспределение молекулярного потока испаренного пленкообразующего вещества от малого поверхностного испарителя.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License