Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА НАНОИМПРИНТА ДЛЯ ЕДИНИЧНОГО КОПИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ФРЕНЕЛЕВСКОЙ И МИКРО- ОПТИКИ
Аннотация
Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской
и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность пере-
дачи мелких деталей, в частности, вакуумирование силоксана и УФ-отверждаемого акрилата при затека-
нии в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.
Ключевые слова:
микрооптика, метод наноимпирита