2007 , ТОМ 07, НОМЕР 4 ( ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА НАНОИМПРИНТА ДЛЯ ЕДИНИЧНОГО КОПИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ФРЕНЕЛЕВСКОЙ И МИКРО- ОПТИКИ

Арефьева Н.Н.

Аннотация

Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской

и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность пере-

дачи мелких деталей, в частности, вакуумирование силоксана и УФ-отверждаемого акрилата при затека-

нии в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.

Ключевые слова:

микрооптика, метод наноимпирита

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License

Информация 2001-2024 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.