Исследование нарушенных слоев полированной оптической поверхности и напряжений в клеевых и бесклеевых соединениях оптических элементов методом эллипсометрии

Горляк А.Н., Лисицин Ю.В., Дронь О.С., Семененко А.И.



Аннотация

В работе описываются новые возможности многоугловой эллипсометрии по исследованию нарушенных поверхностных слоев на стекле и сапфире. Сформулирован и разработан новый эллипсометрический подход, позволяющий успешно исследовать толстые (порядка десятков мкм) нарушенные слои. Проиллюстрирована возможность быстро и оперативно получать карту величины и направления напряжений с высокой степенью локальности в цифровой форме.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика