Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Электрохимический метод микроструктурирования монокристал- лов кремния (краткий обзор)
Аннотация
Рассматривается получение пористого кремния методом электрохимического травления в растворе плавиковой кислоты. Описаны химические процессы, происходящие во время травления, механизм образо-
вания пор и зависимость структуры и свойств полученного пористого слоя от условий, при которых проводилось травление
