ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМА ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ В СИСТЕМЕ «МЕТАЛЛ – ПОЛИМЕР»

Пинаев Александр Леонидович, Стовпяга Александр Владимирович

2009 , ТОМ 09, НОМЕР 5 ( СЕНТЯБРЬ-ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

УДК 53.084.2

ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМА ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ В СИСТЕМЕ «МЕТАЛЛ – ПОЛИМЕР»

Пинаев А.Л., Стовпяга А.В.

Читать статью полностью

Аннотация

Предлагается простая и недорогая технология создания проводящих структур с пониженной размерно-

стью на основе применения метода динамической силовой литографии (ДСЛ) к системе «металл – полимер». Приводятся результаты локальной ДСЛ-модификации поверхности поликарбоната и поликарбоната, покрытого алюминиевой пленкой, с использованием вольфрамового нанозондов с радиусом порядка

100 нм. Результаты модификации анализируются с помощью сканирующего зондового и растрового

электронного микроскопов.

Ключевые слова:

сканирующая зондовая микроскопия, литография.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License