Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
УДК 53.084.2
Пинаев А.Л., Стовпяга А.В.
Читать статью полностью
Аннотация
ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМА ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ В СИСТЕМЕ «МЕТАЛЛ – ПОЛИМЕР»
Читать статью полностью
Аннотация
Предлагается простая и недорогая технология создания проводящих структур с пониженной размерно-
стью на основе применения метода динамической силовой литографии (ДСЛ) к системе «металл – полимер». Приводятся результаты локальной ДСЛ-модификации поверхности поликарбоната и поликарбоната, покрытого алюминиевой пленкой, с использованием вольфрамового нанозондов с радиусом порядка
100 нм. Результаты модификации анализируются с помощью сканирующего зондового и растрового
электронного микроскопов.
Ключевые слова:
сканирующая зондовая микроскопия, литография.