Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
![](/pic/nikiforov.jpg)
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
УДК 53.084.2
Пинаев А.Л., Стовпяга А.В.
Читать статью полностью
Аннотация
ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМА ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ В СИСТЕМЕ «МЕТАЛЛ – ПОЛИМЕР»
Читать статью полностью
![](/images/pdf.png)
Аннотация
Предлагается простая и недорогая технология создания проводящих структур с пониженной размерно-
стью на основе применения метода динамической силовой литографии (ДСЛ) к системе «металл – полимер». Приводятся результаты локальной ДСЛ-модификации поверхности поликарбоната и поликарбоната, покрытого алюминиевой пленкой, с использованием вольфрамового нанозондов с радиусом порядка
100 нм. Результаты модификации анализируются с помощью сканирующего зондового и растрового
электронного микроскопов.
Ключевые слова:
сканирующая зондовая микроскопия, литография.