РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

Korobeynikov Anatoliy Grigorievich, Tkalich Vera L., Papchenko Boris P.

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

A. G. Korobeynikov, V. L. Tkalich, B. P. Papchenko

Read the full article

Abstract

На базе интерферометрического метода разработана автоматизированная система определения параметров шероховатости микро – и наноструктур. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка методов исследования качественных и количественных характеристик наносистемных структур”.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License