РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

Коробейников Анатолий Григорьевич, Ткалич Вера Леонидовна, Папченко Борис Петрович

2007 , ТОМ 07, НОМЕР 8 ( НОЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

Коробейников А.Г., Ткалич В.Л., Папченко Б.П.

Аннотация

На базе интерферометрического метода разработана автоматизированная система определения параметров шероховатости микро – и наноструктур. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка методов исследования качественных и количественных характеристик наносистемных структур”.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License