РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

Коробейников А.Г., Ткалич В.Л., Папченко Б.П.



Аннотация

На базе интерферометрического метода разработана автоматизированная система определения параметров шероховатости микро – и наноструктур. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка методов исследования качественных и количественных характеристик наносистемных структур”.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика