Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Дифрактометрия края контура микрообъекта
Read the full article
';
Abstract
Развитие ряда отраслей науки и техники тесно связано с широким использованием малоразмерных объектов, имеющих отверстия различной формы: круглые, прямоугольные, щелевые и т.п. В зависимости от технологии изготовления контур отверстия имеет различные дефекты края. К отклонениям формы края можно отнести как шероховатость (геометрия края), так и распределенные отклонения.
Keywords:
дифрактометрия, микрообъекты, отверстия
