Дифрактометрия края контура микрообъекта

Звонарев С.Л., Тарлыков В.А.



Аннотация

Развитие ряда отраслей науки и техники тесно связано с широким использованием малоразмерных объектов, имеющих отверстия различной формы: круглые, прямоугольные, щелевые и т.п. В зависимости от технологии изготовления контур отверстия имеет различные дефекты края. К отклонениям формы края можно отнести как шероховатость (геометрия края), так и распределенные отклонения.


Ключевые слова:

дифрактометрия, микрообъекты, отверстия



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика