Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Дифрактометрия края контура микрообъекта
Аннотация
Развитие ряда отраслей науки и техники тесно связано с широким использованием малоразмерных объектов, имеющих отверстия различной формы: круглые, прямоугольные, щелевые и т.п. В зависимости от технологии изготовления контур отверстия имеет различные дефекты края. К отклонениям формы края можно отнести как шероховатость (геометрия края), так и распределенные отклонения.
Ключевые слова:
дифрактометрия, микрообъекты, отверстия
