Исследование конфокального оптоэлектронного микроскопа для измерения мер малой длины

Абрамова Л.Ю., Майорова О.В.


Read the full article  ';

Abstract

В настоящее время появилась необходимость в измерении микро- и наноструктур. С развитием технологий потребовалась высокая точность в изготовлении различных элементов приборов (например, материнских плат в компьютерах, микрочипов, эталонных мер для микроскопов и т.д.).


Keywords:

оптоэлектронный микроскоп



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика