Исследование конфокального оптоэлектронного микроскопа для измерения мер малой длины

Абрамова Лариса Юрьевна, Майорова Ольга Валериевна

2003 , ТОМ 03, НОМЕР 3 ( СЕНТЯБРЬ-ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Исследование конфокального оптоэлектронного микроскопа для измерения мер малой длины

Абрамова Л.Ю., Майорова О.В.

Аннотация

В настоящее время появилась необходимость в измерении микро- и наноструктур. С развитием технологий потребовалась высокая точность в изготовлении различных элементов приборов (например, материнских плат в компьютерах, микрочипов, эталонных мер для микроскопов и т.д.).

Ключевые слова:

оптоэлектронный микроскоп

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License