Исследование структуры тонких диэлектрических слоев оптическими методами

Карасев Никита Николаевич, Шакин Антон Олегович

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Исследование структуры тонких диэлектрических слоев оптическими методами

Карасев Н.Н., Шакин А.О.

Read the full article

Abstract

Работа посвящена возможности использования метода нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) для анализа структуры тонких диэлектрических слоев полученных методами физического осаждения. Дополнительно структура образцов исследовалась на растровом электронном микроскопе (РЭМ). Анализ картины рассеяния и определение вида индикатрисы рассеяния позволит проводить неразрушающий контроль структуры полученных покрытий.

Keywords:

прикладная оптика, диэлектрические слои

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License