Исследование структуры тонких диэлектрических слоев оптическими методами

Карасев Никита Николаевич, Шакин Антон Олегович

2003 , ТОМ 03, НОМЕР 3 ( СЕНТЯБРЬ-ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Исследование структуры тонких диэлектрических слоев оптическими методами

Карасев Н.Н., Шакин А.О.

Аннотация

Работа посвящена возможности использования метода нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) для анализа структуры тонких диэлектрических слоев полученных методами физического осаждения. Дополнительно структура образцов исследовалась на растровом электронном микроскопе (РЭМ). Анализ картины рассеяния и определение вида индикатрисы рассеяния позволит проводить неразрушающий контроль структуры полученных покрытий.

Ключевые слова:

прикладная оптика, диэлектрические слои

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License