Контроллеры автоматизированных систем для производства микросистемной техники

Акульшин Ю.Д., Киреева А.А., Козлов В.П., Лобачева А.М., V. M. Musalimov, Пятышев Е.Н.


Read the full article  ';

Abstract

Микросистемная техника (МСТ) унаследовала от микроэлектроники, наряду с конкретными технологическими приемами, две основополагающие особенности – микроразмеры элементов и макроколичества одновременно обрабатываемых изделий. Первая особенность позволяет изготавливать прецизионные уникальные изделия, размеры и взаимное расположение которых воспроизводятся с субмикронными точностями. Вторая – делает эти устройства дешевыми и доступными для массовых применений.


Keywords:

МСТ, мехатроника



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2020 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика