Контроллеры автоматизированных систем для производства микросистемной техники

Акульшин Юрий Дмитриевич, Киреева Алиса Андреевна, Козлов Владислав Петрович, Лобачева Анна Михайловна, Мусалимов Виктор Михайлович, Пятышев Евгений Нилович

2003 , ТОМ 03, НОМЕР 3 ( СЕНТЯБРЬ-ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Контроллеры автоматизированных систем для производства микросистемной техники

Акульшин Ю.Д., Киреева А.А., Козлов В.П., Лобачева А.М., Мусалимов В.М., Пятышев Е.Н.

Аннотация

Микросистемная техника (МСТ) унаследовала от микроэлектроники, наряду с конкретными технологическими приемами, две основополагающие особенности – микроразмеры элементов и макроколичества одновременно обрабатываемых изделий. Первая особенность позволяет изготавливать прецизионные уникальные изделия, размеры и взаимное расположение которых воспроизводятся с субмикронными точностями. Вторая – делает эти устройства дешевыми и доступными для массовых применений.

Ключевые слова:

МСТ, мехатроника

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License