Контроллеры автоматизированных систем для производства микросистемной техники

Акульшин Ю.Д., Киреева А.А., Козлов В.П., Лобачева А.М., Мусалимов В.М., Пятышев Е.Н.



Аннотация

Микросистемная техника (МСТ) унаследовала от микроэлектроники, наряду с конкретными технологическими приемами, две основополагающие особенности – микроразмеры элементов и макроколичества одновременно обрабатываемых изделий. Первая особенность позволяет изготавливать прецизионные уникальные изделия, размеры и взаимное расположение которых воспроизводятся с субмикронными точностями. Вторая – делает эти устройства дешевыми и доступными для массовых применений.


Ключевые слова:

МСТ, мехатроника



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика