ЩЕЛОЧНОЕ ВСКРЫТИЕ МАКРОПОР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР СО СКВОЗНЫМИ КАНАЛАМИ

Федулова Г.В.


Read the full article  ';

Abstract

 

В работе рассматривается одна из важных задач при получении кремниевых структур на основе макро-
пористого кремния – задача вскрытия пор с целью получения сквозных каналов в кремниевой пластине.
Для решения данного вопроса использовался метод анизотропного щелочного травления.

Keywords:

макропоры, кремниевые структуры



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика