ЩЕЛОЧНОЕ ВСКРЫТИЕ МАКРОПОР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ
КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР СО СКВОЗНЫМИ КАНАЛАМИ

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Федулова Г.В.

Read the full article

Abstract

В работе рассматривается одна из важных задач при получении кремниевых структур на основе макро-

пористого кремния – задача вскрытия пор с целью получения сквозных каналов в кремниевой пластине.

Для решения данного вопроса использовался метод анизотропного щелочного травления.

Keywords:

макропоры, кремниевые структуры