Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
![](/pic/nikiforov.jpg)
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
ЩЕЛОЧНОЕ ВСКРЫТИЕ МАКРОПОР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР СО СКВОЗНЫМИ КАНАЛАМИ
Аннотация
В работе рассматривается одна из важных задач при получении кремниевых структур на основе макро-
пористого кремния – задача вскрытия пор с целью получения сквозных каналов в кремниевой пластине.
Для решения данного вопроса использовался метод анизотропного щелочного травления.
Ключевые слова:
макропоры, кремниевые структуры