РАЗРАБОТА ЛАБОРАТОРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ
НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК НА КРЕМНИЕВЫХ
ПОДЛОЖКАХ

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Стройков И.И.

Read the full article

Abstract

В работе исследуется возможность формирования нанокомпозитных пленок на основе кремния, диокси-

да кремния и различных силикатных стекол. Пленки изготавливались на термически окисленных моно-

кристаллических кремниевых пластинах. Разработана лабораторная технология получения порошков

материалов, из которых готовится суспензия, нанесения суспензии на подложку и формирования пленок

путем спекания.

Keywords:

кремниевые подложки, макропоры