РАЗРАБОТА ЛАБОРАТОРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ

Стройков И.И.



Аннотация

 

В работе исследуется возможность формирования нанокомпозитных пленок на основе кремния, диокси-
да кремния и различных силикатных стекол. Пленки изготавливались на термически окисленных моно-
кристаллических кремниевых пластинах. Разработана лабораторная технология получения порошков
материалов, из которых готовится суспензия, нанесения суспензии на подложку и формирования пленок
путем спекания.

Ключевые слова:

кремниевые подложки, макропоры



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика