Получение периодических структур глубоким анизотропным травлением для опто- и микроэлектронных устройств

Пилюгина Ю.А., Смелова А.В.


Read the full article  ';

Abstract

Данная работа посвящена получению периодических структур на основе щелевого кремния для интегральных фотонных схем. Такие структуры представляют собой одномерное фотонные кристаллы.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика