Автор Пилюгина Юлия Александровна Journal Scientific and Technical Of Information Technologies, Mechanics and Optics

2024 , VOLUME 24, NUMBER 5 ( september-october )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Menu

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Пилюгина Юлия Александровна

Work place: Университет ИТМО

Skvortsov A. M., Пилюгина Ю. А., Tolmachov V. Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния
The article was published in issue 3, volume 04, 2004

Veiko V. P., Дышловенко С. С., Пилюгина Ю. А., Skvortsov A. M. Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера
The article was published in issue 3, volume 04, 2004

Пилюгина Ю. А., Смелова А. В. Получение периодических структур глубоким анизотропным травлением для опто- и микроэлектронных устройств
The article was published in issue 4, volume 05, 2005

Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.