Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Технология создания кремниевого композита с активными активированными диэлектрическими свойствами
Read the full article
';
Abstract
Целью настоящей работы является создание кремниевого композита с активными диэлектрическими свойствами, совместимого с существующей кремниевой технологией в микроэлектронике.
