2005 , ТОМ 05, НОМЕР 4 ( СЕНТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Технология создания кремниевого композита с активными активированными диэлектрическими свойствами

Овечкина Е.В.

Аннотация

Целью настоящей работы является создание кремниевого композита с активными диэлектрическими свойствами, совместимого с существующей кремниевой технологией в микроэлектронике.

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License

Информация 2001-2024 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.