Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
МОДЕЛИРОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ СУБЛИМАЦИОННОГО РОСТА ОБЪЕМНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
Read the full article
';
Abstract
В работе представлена детальная математическая модель сублимационного роста нитрида алюминия и ее
упрощение на основе теории подобия. Рассчитанные на основе разработанной модели поля температуры в
ростовом тигле, распределения скорости роста по поверхности кристалла и эволюции формы кристалла с
хорошей точностью совпадают с экспериментальными данными. Исследованы основные закономерности
массобмена между ростовым тиглем и окружающей средой, выработаны рекомендации по оптимизации
процесса.
Keywords:
системный анализ
