МОДЕЛИРОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ СУБЛИМАЦИОННОГО РОСТА ОБЪЕМНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

Базаревский Д.С.



Аннотация

 

В работе представлена детальная математическая модель сублимационного роста нитрида алюминия и ее
упрощение на основе теории подобия. Рассчитанные на основе разработанной модели поля температуры в
ростовом тигле, распределения скорости роста по поверхности кристалла и эволюции формы кристалла с
хорошей точностью совпадают с экспериментальными данными. Исследованы основные закономерности
массобмена между ростовым тиглем и окружающей средой, выработаны рекомендации по оптимизации
процесса.

Ключевые слова:

системный анализ



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика