Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
МОДЕЛИРОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ СУБЛИМАЦИОННОГО РОСТА ОБЪЕМНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
Аннотация
В работе представлена детальная математическая модель сублимационного роста нитрида алюминия и ее
упрощение на основе теории подобия. Рассчитанные на основе разработанной модели поля температуры в
ростовом тигле, распределения скорости роста по поверхности кристалла и эволюции формы кристалла с
хорошей точностью совпадают с экспериментальными данными. Исследованы основные закономерности
массобмена между ростовым тиглем и окружающей средой, выработаны рекомендации по оптимизации
процесса.
Ключевые слова:
системный анализ
