Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Формирование слоев с переменной толщиной при двойном вращении
Read the full article
';
Abstract
В работе рассмотрена математическая модель, описывающая формирование толщины слоев при осажде-
нии из паровой фазы, получаемой методом электронно-лучевого испарения. Слои создаются при испаре-
нии из маленького поверхностного испарителя на подложку, совершающую планетарное вращение. Ме-
жду испарителем и подложками на одной оси с ними размещены круглые диафрагмы, совершающие до-
полнительное вращение. Приведены результаты расчетов распределения толщины слоев по поверхности
элемента, демонстрирующие зависимость характера распределения от параметров, характеризующих
относительное расположение элемента и испарителя.
