Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Формирование слоев с переменной толщиной при двойном вращении
Аннотация
В работе рассмотрена математическая модель, описывающая формирование толщины слоев при осажде-
нии из паровой фазы, получаемой методом электронно-лучевого испарения. Слои создаются при испаре-
нии из маленького поверхностного испарителя на подложку, совершающую планетарное вращение. Ме-
жду испарителем и подложками на одной оси с ними размещены круглые диафрагмы, совершающие до-
полнительное вращение. Приведены результаты расчетов распределения толщины слоев по поверхности
элемента, демонстрирующие зависимость характера распределения от параметров, характеризующих
относительное расположение элемента и испарителя.
