Гистерезис вольт-фарадных характеристик МОП-структур
с поликремниевым затвором

Roman Khalestkiy

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Гистерезис вольт-фарадных характеристик МОП-структур с поликремниевым затвором

R. Khalestkiy

Read the full article

Abstract

В работе приведены результаты исследования гистерезиса вольт-фарадных характеристик (ВФХ) МОП-структур с легированным поликремниевым затвором. Показано, что при формировании поликремниево-

го затвора появляется характерный гистерезис ВФХ структур кремний-окисел-поликремний, который связан с процессами релаксационной поляризации, обусловленными движением дефектов в окисле.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License