Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ СУБМИКРОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Read the full article
';
Abstract
Созданы основы принципиально новой технологии проекционной субмикронной голографической фотолитографии. Разработана схема записи и восстановления голограмм-проекторов предельного разрешения, используемых без дополнительного объектива; сформулированы и научно обоснованы требования, предъявляемые к ее геометрическим параметрам и режимам экспонирования голограмм; экспериментально показана пригодность применения этой схемы в задачах проекционной литографии.
