Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ СУБМИКРОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Аннотация
Созданы основы принципиально новой технологии проекционной субмикронной голографической фотолитографии. Разработана схема записи и восстановления голограмм-проекторов предельного разрешения, используемых без дополнительного объектива; сформулированы и научно обоснованы требования, предъявляемые к ее геометрическим параметрам и режимам экспонирования голограмм; экспериментально показана пригодность применения этой схемы в задачах проекционной литографии.
