Автор Гарибин Евгений Андреевич Journal Scientific and Technical Of Information Technologies, Mechanics and Optics

2024 , VOLUME 24, NUMBER 6 ( november-december )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Menu

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Гарибин Евгений Андреевич

Work place: Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения, ГОИ

Gatchin Y. A., Крутов М. А., Миронов И. А., Рейтеров В. М., Гарибин Е. А., Демиденко А. А. ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
The article was published in issue 4, volume 08, 2008

Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.