ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Y. A. Gatchin, Крутов М.А., Миронов И.А., Рейтеров В.М., Гарибин Е.А., Демиденко А.А.


Read the full article 

Abstract

Совершенствование технологии выращивания монокристаллов фторида кальция: получения наилучших характеристик пропускания в ВУФ-области спектра,  достижение минимальных значений двулучепреломления.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2019 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика