Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Крутов Михаил Анатольевич
Work place: Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения, ГОИ
Gatchin Y. A., Крутов М. А., Миронов И. А., Рейтеров В. М., Гарибин Е. А., Демиденко А. А. ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
The article was published in issue 4, volume 08, 2008
The article was published in issue 4, volume 08, 2008