Автор Бабков Александр Сергеевич Journal Scientific and Technical Of Information Technologies, Mechanics and Optics

2024 , VOLUME 24, NUMBER 6 ( november-december )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Menu

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Бабков Александр Сергеевич

Work place: Университет ИТМО
Post: студент

Бабков А. С., Лопатнева Н. В. ИССЛЕДОВАНИЕ КАЧЕСТВА ФОТОЛИТОГРАФИИ В СЛОЯХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ЗАТВОРОВ КМОП ИС
The article was published in issue 6, volume 07, 2007

Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.