Автор Копорская Дарья Николаевна Journal Scientific and Technical Of Information Technologies, Mechanics and Optics

2024 , VOLUME 24, NUMBER 5 ( september-october )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Menu

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Копорская Дарья Николаевна

Work place: Университет ИТМО

Tkalich V. L., Gatchin Y. A., Korobeynikov A. G., Копорская Д. Н. Исследование механических и ионных нарушений элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники с помощью эллипсометрии
The article was published in issue 5, volume 05, 2005

Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.